AWM40000 系列气流质量传感器包括不带放大和放大 / 信号处理的信号。AWM42150V和 AWM42300,使用和 AWM2000 相同的电路。AWM43300V 和 AWM43600V 使用和 AWM3000 相同的电路。AWM43600V 为 6SLPM 器件。
特殊性:
● 多条集中化装设 /O 形隔绝圈
● 淘瓷流量数据管(无引气管),0-1000sccm
● 材料流量的管(无引气管),0-6SLPM
● 高共模阻力(150psi)
● 事业湿度可至 125˚C
● 零零和满分度值高平稳性



